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fpc軟板蝕刻工藝介紹

發(fā)布時間:2017-06-01     瀏覽量:5169

     fpc軟板生產(chǎn)制程中,影響蝕刻速度和品質(zhì)的主要因子有這些:溫度、攪拌、化學(xué)設(shè)備。溫度和攪拌是受到生產(chǎn)機(jī)械的控制,可以作為一個整體制程品質(zhì)觀察指標(biāo)。多數(shù)蝕刻機(jī)是水準(zhǔn)傳送結(jié)構(gòu),并具有超過一個以上的噴流段,有獨(dú)立的控制、搖擺噴流管、頂部和底部調(diào)整機(jī)構(gòu)、承接回流蝕刻劑的母槽進(jìn)行補(bǔ)充或取代。后續(xù)的機(jī)構(gòu)和間隔沿著輸送機(jī)構(gòu)配置,水洗中和蝕刻劑殘留并進(jìn)行蝕刻后的化學(xué)處理。


    采用噴流來輔助強(qiáng)制讓新鮮蝕刻溶液進(jìn)入狹窄的空間,因此可以增加生產(chǎn)速度。噴流會有某種程度的制程方向性,它傾向在噴流動量的方向增加蝕刻速率,而相對降低不期待的橫向方向構(gòu)建,垂直蝕刻機(jī)強(qiáng)調(diào)的優(yōu)勢是制程會更均勻,因?yàn)闆]有水準(zhǔn)機(jī)械的水滯效應(yīng)影響均勻度。不過在上方的邊緣會傾向于更快的蝕刻,因?yàn)槿芤嚎偸菑耐粋€方向流失。


    水準(zhǔn)設(shè)備制作是比較簡單也普遍被業(yè)者使用的模式,當(dāng)片狀軟板上增加蝕刻劑會在材料上方聚集成為水滯并降低反應(yīng)速率,這方面可以強(qiáng)制調(diào)整頂部對底部的噴嘴壓力或只使用底部來應(yīng)對特定產(chǎn)品。關(guān)掉頂部噴嘴會減半雙面板的產(chǎn)出,但是可以增加可能的控制能力來補(bǔ)償增加成本,特別是在一些細(xì)線路的產(chǎn)品應(yīng)用。噴嘴的配置和操作壓力會明顯沖擊蝕刻速度和均勻度,各個機(jī)械必須小心評估測量測試片和調(diào)整產(chǎn)出速度,操作壓力、噴嘴尺寸、搖擺頻率和化學(xué)品狀態(tài)必須要取得佳的妥協(xié)。


    水準(zhǔn)輸送設(shè)備比較難以操作fpc基材,可能需要以膠帶黏貼導(dǎo)引板到軟板基材上,引導(dǎo)他通過水準(zhǔn)輸送系統(tǒng)。水準(zhǔn)輸送設(shè)備的設(shè)計,頂部和底部滾輪都有驅(qū)動齒輪在各個邊同時有噴洗管。這個復(fù)雜設(shè)計的目的,是要提供大的暴露空間給頂部和底部基材表面,同時提供可靠的傳輸能力,但是需要將滾輪的軸縮小并重疊滾輪和搭配均勻噴流。

    近一些從業(yè)者提出了二流體蝕刻設(shè)備的概念,其所強(qiáng)調(diào)的技術(shù)重點(diǎn),是利用高壓空氣和蝕刻噴流系統(tǒng)混合,進(jìn)行銅箔的蝕刻作業(yè)。這類系統(tǒng)采用的是過蝕操作,利用高解析度的光阻和比較大的補(bǔ)償設(shè)計,來進(jìn)行fpc線路制作。目前宣稱的制作能力,可以在厚度15um左右的銅箔上制作出15/15um的線寬間距。目前已經(jīng)有部分廠商采用這類設(shè)備制作很細(xì)的線路。


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